利用印刷工艺制作使用碳纳米管技术问世
2009-03-11 00:00:00.0 来源：技术在线 责编：罗鹏
美国Optomec利用印刷工艺制作出了使用碳纳米管（CNT）、工作频率5GHz的晶体管新闻发布。由美国麻省州立大学（University of Massachusetts）和美国Brewer Science共同开发。由于使用Optomec的印刷技术“Aerosol Jet”就可以形成晶体管的全部构成要素，因此无需真空工艺和曝光工艺。
Aerosol Jet已用于制造太阳能电池和燃料电池等的印刷设备。首先，将导电性及非导电性墨水或浆料制成空气溶胶，而后进行液滴喷射。
此次，利用印刷技术在Kapton板上形成通道宽200μm、长100μm的晶体管。以5GHz频率工作时的开关电流比大于100。半导体层采用密度为1000/μm<sup>2</sup>的具有微细结构的CNT。
麻省州立大学等发表的论文称，栅极和漏极的形成均采用了美国UT Dots的Ag墨水。在130℃的条件下烧结30分钟。
此前，NEC曾发布过利用印刷技术制作全部构成要素的CNT晶体管。
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